SORTER 100系统紧凑、高速、可靠,能够满足您不同的需求。
预编程的配方包括随机排序、复制、反转、完成、压缩等等…
您还可以使用不同的参数创建自己的配方。
SORTER 100系统采用了经过16年晶圆厂自动化经验验证的电机、皮带和其他部件。
所有不同SORTER系统的备件都在同一页上列出。
视觉界面清晰、直观且可自定义。
触摸按钮、触摸屏、轨迹球界面。
关键系统特点:
独立的晶圆分拣机台
同一个机器上支持150mm/ 200mm不同尺寸之晶圆
2个、3个、4个共多加载口的配置。
适用于180µm的薄晶圆
机器手臂末端执行器(End Effector):可选择背面真空或边缘接触的End Effector,以满足不同的应用需求。
预设晶圆厂需求之制程参数(分拣、合并、分批、随机化、压缩、复制、反转)
可自行定义制程参数。
手动传送(单片晶圆传送):支持手动传送方式,方便单片晶圆传送之操作。
根据客户之片盒(载具)及晶圆,进行客制化之机台设计。
优化的占地面积。
易于与任何制程工艺设备集成
標準功能:
12英寸彩色LCD觸摸屏幕
自動映射系統
斜插或重片檢測
卡匣中是否有晶圓的檢測
所有馬達上的電流限制器
錯誤消息和週期記錄
可自定義的燈塔
SECS/GEM主機連接(以太網-TCP/IP-E37 HSMS-SS)
讯号灯
無塵室和PDF文檔。
机台选项:
片盒自动倾斜。
垂直层流。
片盒ID的读取。
离子产生器消除静电。
風機過濾機組(Fan Filter Unit)以控制空气中的悬浮粒子(Particle)。
软件的弹性度:
标准或客制化软体。
晶圆追踪取回。
机台在错误产生时,恢复回到生产前,重新生产(Revovery)。
友善的操作介面及客制化的操作介面。
以SECII-GEM, ASCII, RS, TCP/IP等通讯协定,与其它机台、系统整合(Computer-Integrated Manufacturing电脑整合生产制造)。
规格:
CE认证
SEMI标准
Class 1级
厂务需求:
电源:100-240伏交流电,75瓦特
频率:50-60赫兹
满载电流:10安培