Products

COMET 2 station pitch changing

Product description

COMET 2 Station Pitch Changing功能允许从3英寸到8英寸的晶圆进行批次的传送,从卡盒到片盒或从片盒到Quartz/ SiC晶舟的传送,晶圆的间距可从在4.76毫米到8.35毫米做变化。无论是1片到25片晶圆,以批次进行晶圆传送。

根据您不同的片盒、Quartz/ SiC晶舟和晶圆规格需求,进行客制化的订制。COMET 2 Station Pitch Changing传送快速、洁净、可靠且准确,并且由于占地面积小,可以节省宝贵的无尘室空间。 COMET 2 Station Pitch Changing操作简单,易于维护,是一个一键式系统操作,完全自动,无需手动操作的设备。可以直接从前面板键盘进行设置和手动控制。所有电子零部件都适用于所有各型号之COMET设备。 此外,COMET 2 Station Pitch Changing功能与SECS-GEM通讯协定,支持SECSI或HSMS通讯协定。机器背面配备了R2S232和TCP/IP通信接口,可以与您的工艺线(OEM客户)集成,并配备机械手臂和升降机。

Product information

主要技能 :

  • 从片盒到片盒的批量晶圆传送,或从片盒到Quartz/ SiC晶舟之传送,并再4.76毫米至8.35毫米的范围内调整晶圆之间距。
  • 支持6英寸和8英寸的晶圆。
  • 支持SECS-GEM通讯协定(SECS I或HSMS通讯协定)。
  • 可根据客户的片盒、Quartz/ SiC晶舟和晶圆进行客制化订制。
  • 占地面积小,节省空间。
  • 快速、干净、可靠且准确。

 

标准功能 :

  • Peek材质的晶圆pushers, 晶圆retainers及片盒与晶舟放置之装置
  • LCD显示屏显示所有步骤的进度
  • 红外热感应器
  • 2 个片盒及Quartz/ SiC晶舟的感测器。
  • 片盒正确放置感测器(机械装置)
  • 晶圆是否存在于片盒及Quartz/ SiC晶舟的感测器
  • 所有马达皆有电流限制装置
  • 紧急开关之安全保护
  • 开放式机架,设计用于垂直层流环境
  • 自动回复到原始位置功能
  • 记录历史数据(错误讯息、时间、、、等)
  • 无尘室使用之技术文件

 

软件灵活性:

  • 可调整的晶圆传送参数以减少晶圆传送时间
  • 维持安全性之传感器

规格:

  • CE认证
  • SEMI标准
  • Class 1级

 

机台效能

  • 每一个批次的时间 : <1 minute
  • 正常運行時間:99.8%
  • MTBF:> 4000小时
  • MTBA:750小时
  • MTTR:< 小时
  • MTTA:0.005小时
  • 破片率:1 for 5.105

 

厂务要求 :

  • 宽度:499毫米、深度:419毫米、高度:735毫米
  • 重量:47公斤
  • 电源:100-240伏交流电,75瓦特
  • 频率:50-60赫兹
  • 全载电流:1.2-0.6安培
  • 不需要压缩气体

机台选项:

  • SECS/GEM:机台可以选配SECS/GEM通讯协定、RS232-E4 SECS I通讯协定、乙太网路-E37 HSMS-SS (TCP/ IP)通讯协定
  • ESD:碰触晶圆的零件使用ESD的材料,实现晶圆的静电防护
  • 平边 (Notch)/ 对位角 (Flat):整合式之平边 (Notch)/ 对位角 (Flat)对位系统
  • 片盒条码标阅读器:固定式条码阅读器
  • 片盒RF ID阅读器:固定式RF ID阅读器
  • 灯塔警示灯:三色灯塔警示灯(绿、橙、红)
  • 可选平边 (Notch)/ 对位角 (Flat)之位置:平边 (Notch)/ 对位角 (Flat)之位置可以透过开关来设定
  • 键盘锁定:手动模式可以用单一按键将其锁定