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COMET CVS

Product description

产品描述

Comet CVS(Comet Vertical Sorter)是一种设计以垂直式之方式进行批次晶圆传送(3英寸到8英寸)的系统,可以从片盒传送到片盒,或是片盒传送到Quartz/ SiC晶舟上。它提供了因为客户不同需求之灵活解决方案。

Comet CVS的关键特点是其整合式的晶圆位置扫描系统,可精确扫描与纪录晶圆之位置。这个晶圆位置的纪录确保了晶圆准确在某个片盒中的某个Solt之位置,并且在晶圆传送的过程中。可以轻松识别每片晶圆,让在某个工艺结束之后,挡片晶圆及生产中的晶圆可以各自回到原来片盒中原来Slot的位置。 此外,Comet CVS 还配备了一个单片晶圆升降系统,可在系统内处理单片晶圆。这个功能在需要在处理之前使用虚拟晶圆完成一批晶圆或两批晶圆一起转移的情况下特别有用。 总的来说,Comet CVS提供了高效可靠的垂直转移能力,能够适应不同客户需求,并优化晶圆处理流程。 根据您不同的片盒、Quartz/ SiC晶舟和晶圆规格需求,进行客制化的订制。COMET CVS传送快速、洁净、可靠且准确,并且由于占地面积小,可以节省宝贵的无尘室空间。 COMET CVS操作简单,易于维护,是一个一键式系统操作,完全自动,无需手动操作的设备。可以直接从前面板键盘进行设置和手动控制。所有电子零部件都适用于所有各型号之COMET设备。 此外,COMET CVS功能与SECS-GEM通讯协定,支持SECSI或HSMS通讯协定。机器背面配备了R2S232和TCP/IP通信接口,可以与您的工艺线(OEM客户)集成,并配备机械手臂和升降机。

Product information

主要技能:

  • 垂直式晶圆分选排序机台。
  • 支持3英寸至8英寸的晶圆。
  • 可根据客户的片盒、Quartz/ SiC晶舟和晶圆进行客制化订制。

 

批次完成作业系统的特殊功能:

  • 在片盒中将挡片晶圆中,
  • 将单一档片晶圆升高。
  • 扫描片盒中的挡片晶圆位置。
  • 扫描晶圆位置装置,位于机台的手臂上。

 

标准功能:

  • Peek材质的晶圆pushers, 晶圆retainers及片盒与晶舟放置之装置
  • 2 个片盒及Quartz/ SiC晶舟的感测器
  • 片盒正确放置感测器(机械装置)
  • 晶圆是否存在于片盒及Quartz/ SiC晶舟的感测器
  • 所有马达皆有电流限制装置
  • 紧急开关之安全保护
  • 开放式机架,设计用于垂直层流环境
  • LCD显示屏显示所有步骤的进度
  • 记录历史数据(错误讯息、时间、、、等)

 

软件灵活性:

  • 可调整的晶圆传送参数以减少晶圆传送时间
  • 维持安全性之传感器

规格:

  • CE认证
  • SEMI标准
  • Class 1级

机台效能

  • 正常運行時間:99.8%
  • MTBF:> 4000小时
  • MTBA:750小时
  • MTTR:< 小时
  • MTTA:0.005小时
  • 破片率:1 for 5.105

厂务要求:

  • 电源:100-240伏交流电,75瓦特
  • 频率:50-60赫兹
  • 全载电流:1.2-0.6安培
  • 不需要压缩气体

机台选项:

  • SECS/GEM通讯协定(SECS I或HSMS通讯协定)
  • 平边 (Notch)/ 对位角 (Flat)对位系统
  • ESD:碰触晶圆的零件使用ESD的材料。
  • 片盒ID读取(条码或是RF ID)
  • 灯塔警示灯
  • 键盘锁(按键)