产品描述
Comet CVS（Comet Vertical Sorter）是一种设计以垂直式之方式进行批次晶圆传送（3英寸到8英寸）的系统，可以从片盒传送到片盒，或是片盒传送到Quartz/ SiC晶舟上。它提供了因为客户不同需求之灵活解决方案。
Comet CVS的关键特点是其整合式的晶圆位置扫描系统，可精确扫描与纪录晶圆之位置。这个晶圆位置的纪录确保了晶圆准确在某个片盒中的某个Solt之位置，并且在晶圆传送的过程中。可以轻松识别每片晶圆，让在某个工艺结束之后，挡片晶圆及生产中的晶圆可以各自回到原来片盒中原来Slot的位置。 此外，Comet CVS 还配备了一个单片晶圆升降系统，可在系统内处理单片晶圆。这个功能在需要在处理之前使用虚拟晶圆完成一批晶圆或两批晶圆一起转移的情况下特别有用。 总的来说，Comet CVS提供了高效可靠的垂直转移能力，能够适应不同客户需求，并优化晶圆处理流程。 根据您不同的片盒、Quartz/ SiC晶舟和晶圆规格需求，进行客制化的订制。COMET CVS传送快速、洁净、可靠且准确，并且由于占地面积小，可以节省宝贵的无尘室空间。 COMET CVS操作简单，易于维护，是一个一键式系统操作，完全自动，无需手动操作的设备。可以直接从前面板键盘进行设置和手动控制。所有电子零部件都适用于所有各型号之COMET设备。 此外，COMET CVS功能与SECS-GEM通讯协定，支持SECSI或HSMS通讯协定。机器背面配备了R2S232和TCP/IP通信接口，可以与您的工艺线（OEM客户）集成，并配备机械手臂和升降机。
主要技能：
批次完成作业系统的特殊功能：
标准功能：
软件灵活性：
规格：
机台效能
厂务要求：
机台选项：
