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COMET 3 station with flip

Product description

使用COMET 3 Station With Flip是最简单的25晶圆批次传送系统,针对近接或是同个Solt的方式,并让晶圆晶背面对晶背或是晶面面对晶面。这个机器,是最佳的晶圆晶背面对晶背批次晶圆传送系统,适用于固态掺杂、湿式或LTO制程(Low Temperature Oxide:低温氧化物制程)。

根据您不同的片盒、Quartz/ SiC晶舟和晶圆规格需求,进行客制化的订制。COMET 2 Station Pitch Changing传送快速、洁净、可靠且准确,并且由于占地面积小,可以节省宝贵的无尘室空间。 COMET 3 Station With Flip操作简单,易于维护,是一个一键式系统操作,完全自动,无需手动操作的设备。可以直接从前面板键盘进行设置和手动控制。所有电子零部件都适用于所有各型号之COMET设备。 此外,COMET 2 Station Pitch Changing功能与SECS-GEM通讯协定,支持SECSI或HSMS通讯协定。机器背面配备了R2S232和TCP/IP通信接口,可以与您的工艺线(OEM客户)集成,并配备机械手臂和升降机。

Product information

主要技能

  • 从片盒到片盒的批量晶圆传送,或从片盒到Quartz/ SiC晶舟之传送,并包含整批晶圆180度旋转
  • 近接或是同个Solt之方式
  • 支持3英寸至8英寸的晶圆。
  • 支持SECS-GEM通讯协定(SECS I或HSMS通讯协定)。
  • 可根据客户的片盒、Quartz/ SiC晶舟和晶圆进行客制化订制。
  • 占地面积小,节省空间。
  • 快速、干净、可靠且准确。

 

标准功能

  • Peek材质的晶圆pushers, 晶圆retainers及片盒与晶舟放置之装置
  • LCD显示屏显示所有步骤的进度
  • 红外热感应器
  • 2 个片盒及Quartz/ SiC晶舟的感测器。
  • 片盒正确放置感测器(机械装置)
  • 晶圆是否存在于片盒及Quartz/ SiC晶舟的感测器
  • 所有马达皆有电流限制装置
  • 紧急开关之安全保护
  • 开放式机架,设计用于垂直层流环境
  • 自动回复到原始位置功能
  • 记录历史数据(错误讯息、时间、、、等)
  • 无尘室使用之技术文件

软件灵活性:

  • 可调整的晶圆传送参数以减少晶圆传送时间
  • 维持安全性之传感器

厂务要求:

  • 重量:65公斤
  • 电源:100-240伏交流电,75瓦特
  • 频率:50-60赫兹
  • 全载电流:1.2-0.6安培
  • 不需要压缩气体

 

规格:

  • CE认证
  • SEMI标准
  • Class 1级

 

机台效能 :

  • 每一个批次的时间 : <1 minute
  • 正常運行時間:99.8%
  • MTBF:> 4000小时
  • MTBA:750小时
  • MTTR:< 小时
  • MTTA:0.005小时

机台选项:

  • SECS/GEM:机台可以选配SECS/GEM通讯协定、RS232-E4 SECS I通讯协定、乙太网路-E37 HSMS-SS (TCP/ IP)通讯协定
  • ESD:碰触晶圆的零件使用ESD的材料,实现晶圆的静电防护
  • 平边 (Notch)/ 对位角 (Flat):整合式之平边 (Notch)/ 对位角 (Flat)对位系统
  • 片盒条码标阅读器:固定式条码阅读器
  • 片盒RF ID阅读器:固定式RF ID阅读器
  • 灯塔警示灯:三色灯塔警示灯(绿、橙、红)
  • 可选平边 (Notch)/ 对位角 (Flat)之位置:平边 (Notch)/ 对位角 (Flat)之位置可以透过开关来设定
  • 键盘锁定:单一按键可以存取机台之参数,将键盘锁定