COMET 3 Station是作业人員最喜歡的批量晶圓传送系統。該機器可以根據不同的需求,从卡盒到片盒或从片盒到Quartz/ SiC晶舟,進行3英寸到8英寸晶圆的批次传送。從25到25、從25/25到50、從12/13到50。
根据您不同的片盒、Quartz/ SiC晶舟和晶圆规格需求,进行客制化的订制。COMET 2 Station Pitch Changing传送快速、洁净、可靠且准确,并且由于占地面积小,可以节省宝贵的无尘室空间。
COMET 2 Station Pitch Changing操作简单,易于维护,是一个一键式系统操作,完全自动,无需手动操作的设备。可以直接从前面板键盘进行设置和手动控制。所有电子零部件都适用于所有各型号之COMET设备。 此外,
COMET 2 Station Pitch Changing功能与SECS-GEM通讯协定,支持SECSI或HSMS通讯协定。机器背面配备了R2S232和TCP/IP通信接口,可以与您的工艺线(OEM客户)集成,并配备机械手臂和升降机。
主要技能:
标准功能:
软件灵活性:
规格:
机台效能
厂务要求:
机台选项: