COMET 3 Station是作业人員最喜歡的批量晶圓传送系統。該機器可以根據不同的需求，从卡盒到片盒或从片盒到Quartz/ SiC晶舟，進行3英寸到8英寸晶圆的批次传送。從25到25、從25/25到50、從12/13到50。
根据您不同的片盒、Quartz/ SiC晶舟和晶圆规格需求，进行客制化的订制。COMET 2 Station Pitch Changing传送快速、洁净、可靠且准确，并且由于占地面积小，可以节省宝贵的无尘室空间。
COMET 2 Station Pitch Changing操作简单，易于维护，是一个一键式系统操作，完全自动，无需手动操作的设备。可以直接从前面板键盘进行设置和手动控制。所有电子零部件都适用于所有各型号之COMET设备。 此外，
COMET 2 Station Pitch Changing功能与SECS-GEM通讯协定，支持SECSI或HSMS通讯协定。机器背面配备了R2S232和TCP/IP通信接口，可以与您的工艺线（OEM客户）集成，并配备机械手臂和升降机。
主要技能：
标准功能：
软件灵活性：
规格：
机台效能
厂务要求：
机台选项：
