使用COMET 2 Station with Flip,可将3英寸到8英寸的晶圆,以批次方式,从片盒传送到另一个片盒,或从片盒传送到Quartz/ SiC晶舟,还包含一个晶圆180度转向的功能。无论是1片到25片晶圆,以批次进行晶圆传送。
COMET 2 Station with Flip可以根据您的不同的片盒、Quartz/ SiC晶舟和晶圆规格的需求进行客制化设计。传送快速、洁净、可靠且准确,并且由于占地面积小,可以节省宝贵的无尘室空间。 COMET 2 Station with Flip是一个操作简单、易于维护的一键式系统,
完全自动,无需手动操作。可以直接从前面板之键盘设置和手动控制。所有电子零部件都适用于所有各型号之COMET设备。
此外,COMET 2 Station with Flip兼容SECS-GEM通信协定,SECSI或HSMS通讯协定,得益于机器背面的R2S232和TCP/IP通信接口,可以与您的制程生产线(OEM客户)集成,并配有机械手臂和升降机。
主要系统特点:
标准功能:
机台选项
软件灵活性:
规格:
机台效能
厂务要求:
机台选项: