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COMET 2 station with flip

Product description

使用COMET 2 Station with Flip,可将3英寸到8英寸的晶圆,以批次方式,从片盒传送到另一个片盒,或从片盒传送到Quartz/ SiC晶舟,还包含一个晶圆180度转向的功能。无论是1片到25片晶圆,以批次进行晶圆传送。

COMET 2 Station with Flip可以根据您的不同的片盒、Quartz/ SiC晶舟和晶圆规格的需求进行客制化设计。传送快速、洁净、可靠且准确,并且由于占地面积小,可以节省宝贵的无尘室空间。 COMET 2 Station with Flip是一个操作简单、易于维护的一键式系统,

完全自动,无需手动操作。可以直接从前面板之键盘设置和手动控制。所有电子零部件都适用于所有各型号之COMET设备。

此外,COMET 2 Station with Flip兼容SECS-GEM通信协定,SECSI或HSMS通讯协定,得益于机器背面的R2S232和TCP/IP通信接口,可以与您的制程生产线(OEM客户)集成,并配有机械手臂和升降机。

Product information

主要系统特点:

  • 片盒到片盒或是片盒到Quartz/ SiC晶舟的批次晶圆转移
  • 晶圆尺寸范围从3英寸到8英寸
  • 支持SECS-GEM通讯协定(SECS I或HSMS通讯协定)
  • 可根据客户的片盒、Quartz/ SiC晶舟和晶圆进行机台订制
  • 占地面积小
  • 快速、干净、可靠和准确

 

标准功能:

  • Peek材质的晶圆pushers, 晶圆retainers及片盒与晶舟放置之装置
  • LCD显示屏显示所有步骤的进度
  • 红外热感应器
  • 2 个片盒及Quartz/ SiC晶舟的感测器。
  • 片盒正确放置感测器(机械装置)
  • 晶圆是否存在于片盒及Quartz/ SiC晶舟的感测器
  • 所有马达皆有电流限制装置
  • 紧急开关之安全保护
  • 开放式机架,设计用于垂直层流环境
  • 自动回复到原始位置功能
  • 记录历史数据(错误讯息、时间、、、等)
  • 无尘室使用之技术文件

 

机台选项

  • SECS/GEM (SECS I or HSMS)通讯协定
  • 晶圆Flat或Notch之对位装置
  • 接触晶圆的部分使用ESD材质
  • 片盒ID读取(条码读取器或是 RF ID读取器)
  • 灯塔警示灯
  • 平边 (Notch)/ 对位角 (Flat)之位置可以透过开关来设定
  • 键盘锁定(用单一按键锁定)

软件灵活性:

  • 可调整的晶圆传送参数以减少晶圆传送时间
  • 维持安全性之传感器

 

规格:

  • CE认证
  • SEMI标准
  • Class 1级

 

机台效能

  • 每一个批次的时间 : <1 minute
  • 正常運行時間:99.8%
  • MTBF:> 4000小时
  • MTBA:750小时
  • MTTR:< 小时
  • MTTA:0.005小时
  • 破片率:1 for 5.105

 

厂务要求:

  • 宽度:499毫米、深度:419毫米、高度:735毫米
  • 重量:45公斤
  • 电源:100-240伏交流电,75瓦特
  • 频率:50-60赫兹
  • 全载电流:1.2-0.6安培
  • 不需要压缩气体

机台选项:

  • SECS/GEM:机台可以选配SECS/GEM通讯协定、RS232-E4 SECS I通讯协定、乙太网路-E37 HSMS-SS (TCP/ IP)通讯协定
  • ESD:碰触晶圆的零件使用ESD的材料,实现晶圆的静电防护
  • 平边 (Notch)/ 对位角 (Flat):整合式之平边 (Notch)/ 对位角 (Flat)对位系统
  • 片盒条码标阅读器:固定式条码阅读器
  • 片盒RF ID阅读器:固定式RF ID阅读器
  • 灯塔警示灯:三色灯塔警示灯(绿、橙、红)
  • 可选平边 (Notch)/ 对位角 (Flat)之位置:平边 (Notch)/ 对位角 (Flat)之位置可以透过开关来设定
  • 键盘锁定:手动模式可以用单一按键将其锁定